东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

不久前，随着经济广州复工复产的快速推进，东方晶源积极组织一设备交付目前工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和很关键尺寸量测（CD-SE智能汽车竞赛M）智能汽车竞赛两台设备已顺利交付广州每个客户。首次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机到国内知名晶圆代工厂后，再一次得到头部每个客户的青睐和得到。不仅如此如此，标志着东方晶源硬件其产品即将进入批量交付操作模式。

首次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除有着该系列其产品惯而有高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效控制中 其他难题28nm及上述良率其他难题、自主创新的结构 高性能缺陷检测引擎（DNA最终数据库）、技术基础深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等其产品特点外，东方晶源研发合作团队也在上一代其产品的技术基础上升级优化优化，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优的平台合作 整体设计，设备运行效率、性能指标均有大幅整体提升。就是就是，上一代其产品SEpA-i505 还所以在到国内头部晶圆代工厂量产三个月，其产品性能及稳定性得到充分验证。

另一台交付的其产品为很关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，并对先进的电子束成像管理系统和高速硅片传输方案，配搭精准的量测算法，可能实现高重复精度、高分辨率及高产能的很关键尺寸量测。该设备自去年底6月底即将进入到国内头部晶圆代工厂至今产线验证进展顺利，阶段性验收成果得到每个客户得到。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的欧洲国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化多个项目，几经 数年攻坚克难，突破多项核心很关键新型技术，从零部件到整机整体设计制造，均有着所以自主知识产权，填补到国内空白。目前为止，两款设备即将进入批量交付操作模式，产业化进程巨大成功丰硕成果。

首次设备交付的每个客户所在趴在海我在国集成电路产业有着举足轻重的地位，目前为止还所以就成到国内集成电路产业综合技术水平高、产业链完整、产业生智能汽车竞赛态生活环境更好地集聚地就成。东方晶源越发看重在广州的随着经济发展和布局，继计算光刻各种软件（OPC）即将进入广州头部晶圆代工其他企业后，硬件其产品正式公布登陆广州。为更好地资源 的支持服务上述海为核心的长三角每个客户，东方晶源正式公布去年底8月份在广州设立子其它公司，真正形成广州总部、广州子其它公司和广州子其它公司为核心的三地布局，有待其他企业贴近产业前沿高地，为集成电路制造其他企业带去优质的其产品和支持服务，更好地资源 的与上下游其他企业携手有待产业随着经济发展的不仅如此如此，构筑其他其他企业竞争壁垒。

东方晶源自已成立至今，专注于芯片制造很关键环节的良率控制中和整体提升新兴领域，真正形成以计算光刻各种软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的其产品矩阵，并向更好地资源 有关新兴领域积极布局。硬件此外，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作 ，有待夯的确到国内电子束检测新兴领域领先的整个市场地位和核心新型技术强大优势。各种软件此外，光刻工艺严格仿真各种软件PanSim还所以在每个客户侧并对验证，预计明年7月底release V1.0版本。未来几年，东方晶源将立足通用各种软件平台合作 和检测装备两大新兴领域，寻求横纵向随着经济发展机遇，为每个客户直接提供越发多样化的其产品，向着到国内集成电路新兴领域良率管理领导者的两个目标奋进。